20. (4分)半导体等产业对超纯氢气需求旺盛。我国工程师研发了具有自主知识产权的多通道钯膜纯化组件，可以将99.92%原料氢气提纯至99.99995%，实现了超纯氢气装置国产化。该装置核心组件工作原理如图4所示，其工作温度在300℃以上，用字母标注的端口有“产品氢气出口”“尾气出口”“吹扫气入口”。
(1)由图1可知，透过钯膜的最小粒子是。

(2)由图2可知，氢气分子透过钯膜的推动力是膜两侧的差。

(3)图4中，纯化组件开始工作时，须先通N₂排净装置中空气，再通原料氢气，其目的是。“产品氢气出口”是(填字母)。

20. (1)氢原子 (2)压强 (3)防止升温(或加热)时氢气与空气混合发生爆炸 B